MEMS器件的主要分類：射頻MEMS技術傳統上分為固定的和可動的兩類。固定的MEMS器件包括本體微機械加工傳輸線、濾波器和耦合器，可動的MEMS器件包括開關、調諧器和可變電容。按技術層面又分為由微機械開關、可變電容器和電感諧振器組成的基本器件層面；由移相器、濾波器和VCO等組成的組件層面；由單片接收機、變波束雷達、相控陣雷達天線組成的應用系統層面。MEMS所包含的內容正在不斷增加，并變得更加豐富。人們還把微機械、微結構、靈巧傳感器和智能傳感器歸入MEMS范疇。制作MEMS的技術包括微電子技術和微加工技術兩大部分。微電子技術的主要內容有：氧化層生長、光刻掩膜制作、光刻選擇摻雜（屏蔽擴散、離子注入...

MEMS掃描微鏡要注意去正規的廠家進行購買，MEMS二維掃描微鏡性能指標國際前沿。MEMS二維掃描微鏡利用微加工技術，批量制備高性能光學掃描微鏡，可以實現對激光束和激光脈沖的精密掃描定位和操控。利用MEMS二維掃描微鏡，以及半導體激光器的光強調制技術，可以實現全高清的微型激光投影儀，滿足移動大屏顯示的需求。利用MEMS二維掃描微鏡結合紅外激光器的調制，可以實現紅外結構光的發射，滿足3D相機對結構光投影的性價比的要求。利用大鏡面的MEMS二維掃描微鏡，可以實現固態激光雷達的小型化、低成本和可批量生產。靜電驅動的MEMS掃描微鏡兩個軸的偏轉角度可達到32°,在滿振幅運轉功耗只為幾毫瓦。2DMEMS...

MEMS掃描鏡的發展趨勢：從MEMS掃描鏡的軸數看，雙軸掃描鏡是技術發展趨勢，這樣能大幅度降低封裝成本。從MEMS掃描鏡的掃描角度精度看，發展趨勢是掃描鏡集成制造角度傳感器，采用閉環控制方法實現對掃描微鏡的精確控制。從MEMS掃描鏡的驅動方式看，由于壓電驅動具有更高的力密度，壓電驅動MEMS掃描鏡將可能成為技術新方向。MEMS掃描鏡具有高分辨率，高可靠性、低成本，小尺寸、易集成等優點，在機器視覺、主動避障以及自動駕駛方面有著普遍應用。利用MEMS二維掃描微鏡，以及半導體激光器的光強調制技術，可以實現全高清的微型激光投影儀。珠海靜電驅動MEMS掃描微鏡行業MEMS微鏡掃描方法使用洛倫茲力磁體來控...

MEMS掃描微鏡的應用：MEMS二維掃描微鏡利用微加工技術，批量制備高性能光學掃描微鏡，可以實現對激光束和激光脈沖的精密掃描定位和操控。利用MEMS二維掃描微鏡，以及半導體激光器的光強調制技術，可以實現全高清的微型激光投影儀，滿足移動大屏顯示的需求。利用MEMS二維掃描微鏡結合紅外激光器的調制，可以實現紅外結構光的發射，滿足3D相機對結構光投影的性價比的要求。利用大鏡面的MEMS二維掃描微鏡，可以實現固態激光雷達的小型化、低成本和可批量生產，滿足自動駕駛對激光雷達的要求。MEMS掃描微鏡具有尺寸小、成本低、掃描頻率高、響應速度快和功耗低等優點。無錫常用MEMS掃描微鏡供貨商MEMS掃描鏡的分類...

MEMS掃描微鏡的使用是比較多的，從MEMS掃描鏡的軸數看，雙軸掃描鏡是技術發展趨勢，這樣能大幅度降低封裝成本。從MEMS掃描鏡的掃描角度精度看，發展趨勢是掃描鏡集成制造角度傳感器，采用閉環控制方法實現對掃描微鏡的精確控制。從MEMS掃描鏡的驅動方式看，由于壓電驅動具有更高的力密度，壓電驅動MEMS掃描鏡將可能成為技術新方向，值得關注。一維MEMS掃描鏡設計上采用高速共振模式，以達到大光學掃描角的性能，可實現光束，一維空間的精確掃描；用戶可根據實際應用的光學系統需求，選擇合適的反射鏡面尺寸及性能參數；鏡面表面以金或鋁為標準鍍膜材料，為不同工作波長光束提供高反射率。MEMS掃描微鏡的注意事項是什...

MEMS微鏡掃描方法使用洛倫茲力磁體來控制1cm²微鏡設備的運動，這是朝著小尺寸傳感器模塊邁出的一步，它無需使用電機，且限制了會引起摩擦的機械部件。從理論上講，降低了那些可能影響傳感器模塊可靠性和使用壽命的因素。分辨率的提高主要來自調整反射鏡和激光發射器的尺寸。通過提高分辨率，開發者旨在提高對象檢測和識別的可靠性。一維MEMS掃描鏡(直徑1.4mm)采用半導體硅工藝制造,低功耗靜電驅動,以高速譜振模式,可實現大的光學掃描角度和高掃描頻率,鏡面表面以金為標準鍍膜材料,可為紅外波長光束提供高反射率,目前已經量產,可大批量交付客戶,亦可大規模制造中采用鋁為鏡面材料,實現其他波段的高反射率。...

MEMS掃描微鏡特性：MEMS掃描鏡裸片與用于垂直掃描位置反饋的壓阻式應變傳感器靠得很近。位置系統反饋信號可以提高投影式顯示器長時間使用和在不同環境條件下的穩定性，紅、藍和綠色激光二極管與MEMS掃描鏡集成在一起形成一個緊湊的彩色顯示引擎，如圖6所示。掃描鏡系統在設計中使用了MEMS和小型激光器，包含光源在內，整個體積不超過5cm^3，高度只6mm。二維MEMS掃描鏡（直徑3.0mm/直徑1.4mm）采用半導體硅技術制造，低功耗靜電驅動，快軸可達到幾kHz共振模式，慢軸可實現穩定旋轉，并可以實現二維光束空間用戶可以根據光學系統的實際應用選擇合適的鏡面尺寸。MEMS掃描微鏡是激光應用必不可少的關...

微鏡具有的優點：低功耗和低的制造成本。許多行業將微鏡普遍用于MEMS應用。微鏡具有普遍的潛在應用。比如，微鏡可用于控制光學元件，由于具有這種功能，它們在顯微鏡和光纖領域非常有用。微鏡常用于掃描儀、平視顯示器和醫學成像等領域。此外，MEMS系統有時還將集成掃描微鏡系統用于消費者和通信應用。一維MEMS掃描鏡(直徑1.4mm)采用半導體硅工藝制造,低功耗靜電驅動,以高速譜振模式,可實現大的光學掃描角度和高掃描頻率,鏡面表面以金為標準鍍膜材料,可為紅外波長光束提供高反射率,目前已經量產,可大批量交付客戶,亦可大規模制造中采用鋁為鏡面材料,實現其他波段的高反射率。同時,可以根據不同需求定制其他不同大小...

MEMS掃描鏡特性：MEMS掃描鏡具有可靠性，MEMS掃描鏡全部由單晶硅制成，也就是說這種設計使運動部件不包括任何易出故障的部件，例如，金屬、聚合物、壓電材料等。使其擁有優良的重復性和可靠性。采用無萬向節設計，使大鏡面尺寸和大角度偏轉的MEMS微振鏡擁有更高的速度。靜電驅動的MEMS掃描微振鏡兩個軸的偏轉角度可達到32°，在滿振幅運轉功耗只為幾毫瓦。目前靜電驅動的微振鏡可提供的一維和二維的MEMS掃描鏡，可提供直徑從0.8mm到5mm微型振鏡。MEMS掃描微鏡被應用在光通信、掃描成像、激光雷達、內窺鏡、3D掃描成像等領域。智能安防MEMS掃描鏡報價MEMS掃描鏡可以應用于激光加工等能...

根據掃描鏡工作方式分類，MEMS掃描微鏡可以分為準靜態式和諧振式兩種， 準靜態式主要應用在激光指向之中，諧振式主要應用于激光掃描成像之中。準靜態MEMS掃描鏡工作在非諧振狀態，掃描鏡可以在掃描范圍內的任意掃描角度暫停，其掃描角度范圍相對較小。諧振式 MEMS 掃描鏡工作在機械諧振狀態，掃描圖案為李薩如圖形。這種工作方式掃描角度大、功耗低，圖像化激光掃描、 激光成像是其主要的應用方向。作為激光雷達掃描器使用時，選取電磁驅動的諧振式 MEMS 微鏡。MEMS 激光雷達探測原理如圖所示。MEMS振鏡可以在二維方向上同時振動，而當一個質點同時參與兩個互相垂直的簡諧振動，并且它們的頻率比是整數比時，掃 ...

一維MEMS掃描鏡的工藝：一維MEMS掃描鏡(直徑1.4mm)采用半導體硅工藝制造,低功耗靜電驅動,以高速譜振模式,可實現大的光學掃描角度和高掃描頻率,鏡面表面以金為標準鍍膜材料,可為紅外波長光束提供高反射率,目前已經量產,可大批量交付客戶,亦可大規模制造中采用鋁為鏡面材料,實現其他波段的高反射率。同時,可以根據不同需求定制其他不同大小鏡面的MEMS微鏡芯片。一維MEMS掃描鏡：一維MEMS掃描鏡設計上采用高速共振模式，以達到大光學掃描角的性能，可實現光束。MEMS掃描微鏡的運動方式包括平動和扭轉兩種機械運動。國產化MEMS掃描微鏡哪里買MEMS掃描鏡技術未來的發展趨勢是什么？MEMS掃描鏡技...

一維MEMS掃描鏡的使用：一維MEMS掃描鏡要到正規的廠家進行購買，微視傳感基于MEMS微鏡3D視覺解決方案正助力機器視覺產業的蓬勃發展，其方案普遍應用于3D建模、智能安防、智能機器人、AGV、無人駕駛、汽車HUD等新興行業。一維MEMS掃描鏡設計上采用高速共振模式，以達到大光學掃描角的性能，可實現光束。一維空間的精確掃描；用戶可根據實際應用的光學系統需求，選擇合適的反射鏡面尺寸及性能參數；鏡面表面以金或鋁為標準鍍膜材料，為不同工作波長光束提供高反射率；若采用兩顆一維MEMS掃描鏡組合即可實現光束在二維空間的精確掃描，可實現高性能要求應用的開發。一維MEMS掃描鏡(直徑1.4mm)采用半導體硅...

MEMS掃描鏡特性：MEMS掃描鏡具有可靠性，MEMS掃描鏡全部由單晶硅制成，也就是說這種設計使運動部件不包括任何易出故障的部件，例如，金屬、聚合物、壓電材料等。使其擁有優良的重復性和可靠性。采用無萬向節設計，使大鏡面尺寸和大角度偏轉的MEMS微振鏡擁有更高的速度。靜電驅動的MEMS掃描微振鏡兩個軸的偏轉角度可達到32°，在滿振幅運轉功耗只為幾毫瓦。目前靜電驅動的微振鏡可提供的一維和二維的MEMS掃描鏡，可提供直徑從0.8mm到5mm微型振鏡。相較于傳統的掃描鏡，MEMS掃描鏡的成本低。無錫MEMS器件規格一維MEMS掃描鏡的工藝：一維MEMS掃描鏡(直徑1.4mm)采用半導體硅工藝...

MEMS掃描鏡的特點：傳統的光學掃描鏡體積大、成本高，且多為散裝，限制了其應用。相較于傳統的掃描鏡，MEMS掃描鏡具有尺寸小、成本低、掃描頻率高、響應速度快和功耗低等優點，以被普遍的應用在光通信、掃描成像、激光雷達、內窺鏡、3D掃描成像等領域。按照掃描維度不同，MEMS掃描鏡可以分為一維掃描鏡和二維掃描鏡，一維掃描鏡是指在鏡面在一個維度內偏轉，二維掃描鏡是指沿著兩個方向同時對光束進行調節。實現二維掃描，可以選用兩個一維的掃描鏡，也可以選用兩個一個二維的掃描鏡。相比較而言二維掃描鏡功能更強大，但是結構也更復雜，控制的難度也就越大。一維MEMS掃描鏡是采用 MEMS 靜電驅動原理，體積小。準靜態式...

MEMS器件發展前景廣闊，可應用于機械的高級維護系統、微型工廠、人體管腔診斷和檢查系統等需要微型、微細機械的場合。利用MEMS技術可制成突破通信瓶頸的全光交換機、準確檢測病變的基因芯片、比手掌還小的飛行器、重量只有幾十克的微小衛星等。事實上，MEMS是一項極具前途的兩用技術。在過去十多年中, MEMS技術已經應用于安全氣囊傳感器（加速計）、壓力傳感器、顯示器、自適應光器件、數字微鏡器件、掃描儀、血壓測量傳感器、圖象傳感器、硬盤驅動器中的加速度傳感器、蜂窩電話中應用的微繼電器、電視中應用的微型透鏡、噴墨打印頭以及數據存儲器等。在通信方面，光通信正在向有光交換功能的全光通信網絡方向發展， 無線通信...

一維MEMS掃描鏡(直徑1.4mm)采用半導體硅工藝制造,低功耗靜電驅動,以高速譜振模式,可實現大的光學掃描角度和高掃描頻率,鏡面表面以金為標準鍍膜材料,可為紅外波長光束提供高反射率,目前已經量產,可大批量交付客戶,亦可大規模制造中采用鋁為鏡面材料,實現其他波段的高反射率。MEMS微鏡中所謂靜電驅動技術，就是利用電荷間的庫侖力作為驅動力進行驅動的技術。通過靜電作用使可以活動的微鏡面轉動，從而改變光路。雖然驅動力較其他原理的器件相比偏小，但工藝兼容性較好，可以使用體硅和表面硅機械加工工藝制作，便于實現集成。靜電驅動技術按結構分，主要有平行板電容結構、抓刮結構（scratchdriveactuat...

MEMS掃描微鏡中的MEMS具有以下幾個基本特點，微型化、智能化、多功能、高集成度和適于大批量生產。MEMS技術的目標是通過系統的微型化、集成化來探索具有新原理、新功能的元件和系統。 MEMS技術是一種典型的多學科交叉的前沿性研究領域，幾乎涉及到自然及工程科學的所有領域，如電子技術、機械技術、物理學、化學、生物醫學、材料科學、能源科學等。其研究內容一般可以歸納為以下三個基本方面： 1．理論基礎： 在當前MEMS所能達到的尺度下，宏觀世界基本的物理規律仍然起作用，但由于尺寸縮小帶來的影響（Scaling Effects），許多物理現象與宏觀世界有很大區別，因此許多原來的理論基礎都會發生變化，如力...

MEMS掃描微鏡為了得到較大的驅動力矩使得振鏡扭轉較大角度，同時盡可能地降低功耗，通常使用電磁驅動或壓電驅動來驅動大尺寸振鏡.其中，壓電驅動雖然能夠產生比較大的驅動力，但由于其難以與MEMS工藝相結合，并且驅動產生的位移較小，故器件中采用了更加靈活和高效的電磁驅動方式.電磁驅動方式根據其結構的不同，通常有兩種驅動形式：一種為電磁鐵型，將表面附有鐵鈷鎳等導磁性能良好金屬的微掃描鏡放置在按照一定頻率變化的交變磁場中，利用交變磁場與金屬相互作用產生磁力驅動微描鏡扭轉；另一種為雙極子型，需要在微掃描鏡上沉積磁材料，利用磁材料在交變電場下產生的作用力，驅動微掃描鏡扭轉。固定的MEMS器件包括本體微機械加...

MEMS掃描鏡可以使用到的領域是比較多的，掃描鏡已成為MEMS業界關注的焦點，微鏡是指采用光學MEMS技術制造的，把微光反射鏡與MEMS驅動器集成在一起的光學MEMS器件。MEMS微鏡的運動方式包括平動和扭轉兩種機械運動。對于扭轉MEMS微鏡，當其光學偏轉角度較大（達到10°以上），主要功能是實現激光的指向偏轉、圖形化掃描、圖像掃描時，可被稱為“MEMS掃描鏡”，以區別于較小偏轉角度的扭轉MEMS微鏡。MEMS掃描鏡在激光投影、激光成像、激光加工、激光傳感等應用具有普遍的需求，是激光應用必不可少的關鍵激光元器件，較近成為關注的熱點。一維MEMS掃描微鏡是指在鏡面在一個維度內偏轉。江蘇...

按照驅動方式的不同，MEMS掃描鏡可以分為靜電驅動、電磁驅動、壓電驅動和電熱驅動四種驅動方式。電熱驅動是，利用電能轉換為熱能，再轉換為機械能驅動，其優點是驅動力和驅動位移較大，但是響應速度較慢。壓電驅動是利用壓電材料的壓電效應實現驅動，具有驅動力大、響應速度快等優點，但是壓電材料存在遲滯現象。電磁驅動是利用電磁或者永磁體實現驅動，具有較大的驅動力力和驅動位移，但是響應速度偏慢，且容易受到電磁干擾。靜電驅動是利用帶電導體間的靜電作用力實現驅動，具有功耗低、速度快、兼容性好等優點。是目前使用很廣的驅動方式。MEMS掃描微鏡被應用在光通信、掃描成像、激光雷達、內窺鏡、3D掃描成像等領域。南京智能機器...

MEMS器件的主要分類：MEMS發展的又一領域是與光學相結合，即綜合微電子、微機械、光電子技術等基礎技術，開發新型光器件，稱為微光機電系統（MOEMS）。它能把各種MEMS結構件與微光學器件、光波導器件、半導體激光器件、光電檢測器件等完整地集成在一起。形成一種全新的功能系統。MOEMS具有體積小、成本低、可批量生產、可精確驅動和控制等特點。較成功的應用科學研究主要集中在兩個方面：一是基于MOEMS的新型顯示、投影設備，主要研究如何通過反射面的物理運動來進行光的空間調制，典型表示為數字微鏡陣列芯片和光柵光閥；二是通信系統，主要研究通過微鏡的物理運動來控制光路發生預期的改變，較成功的有光開關調制器...

2DMEMS掃描微鏡，其在兩個方向均可掃描，根據兩軸掃描模式不同，其主要可以分為三類：a）兩軸均用準靜態掃描方式，這種MEMS掃描微鏡兩個方向上的工作帶寬都從直流驅動到一定頻率可調，不能工作在諧振頻率下。當用直流電壓驅動時，鏡面反射光斑可以維持在一個固定的位置，因而可以實現點到點的掃描效果。b）x軸（也即快軸）采用諧振模式，用正弦波驅動工作在微鏡固有的諧振頻率點，通常為幾KHz，讓反射光束在水平方向上快速掃描，然后y軸（也即慢軸）采用準靜態模式，用低頻三角波或鋸齒波驅動掃描，頻率通常為幾十Hz。c）兩軸均為諧振掃描模式，該模式下兩軸都工作在各自狹窄的頻率范圍內，均用高頻正弦波驅動掃描。由于工作...

MEMS微鏡的系統可以可靠地感知周圍的環境，并且不易受到干擾，同時尺寸小巧、易于集成。MEMS微鏡的優勢：無需接觸的環境分析， 超高分辨率，超緊湊的尺寸， 適用于移動設備， 堅固可靠且免維護。集成驅動的緊湊型MEMS光學組件具有很好的魯棒性和可靠性。MEMS微鏡的特殊之處在于，它們可以在所有范圍內可靠地探測周圍環境。此外，MEMS微鏡還非常輕巧，便于集成，即使它們本身含有微型可動元件，但并不會受到汽車振動的影響，從而保證了測量精度。MEMS掃描鏡設計既可以滿足機械運動需求，又可以實現固態激光雷達的穩定性，可以實現更安全的自動駕駛。一維MEMS掃描鏡設計上采用高速共振模式，以達到大光學掃描角的性...

一維MEMS掃描鏡簡介：一維MEMS掃描鏡設計上采用高速共振模式，以達到大光學掃描角的性能，可實現光束。一維空間的精確掃描；用戶可根據實際應用的光學系統需求，選擇合適的反射鏡面尺寸及性能參數；鏡面表面以金或鋁為標準鍍膜材料，為不同工作波長光束提供高反射率；若采用兩顆一維MEMS掃描鏡組合即可實現光束在二維空間的精確掃描，可實現高性能要求應用的開發。一維MEMS掃描鏡(直徑1.4mm)采用半導體硅工藝制造,低功耗靜電驅動,以高速譜振模式,可實現大的光學掃描角度和高掃描頻率,鏡面表面以金為標準鍍膜材料,可為紅外波長光束提供高反射率,目前已經量產,可大批量交付客戶,亦可大規模制造中采用鋁為鏡面材料,...

MEMS微鏡的使用是比較多的，MEMS微鏡已成為激光雷達主流，少數公司只使用攝像頭，有些場景（如純白或純色）場景可能難以識別，而激光雷達可以很快計算出距離、速度等各種信息，實現對環境的高分辨率識別。以往的機械式激光雷達光學和電學系統非常復雜，只有一些公司還在使用，無法大規模量產。較新技術是采用MEMS掃描微鏡的激光雷達，國內一些已經在使用國產MEMS微鏡芯片開始定點項目量產。一維MEMS掃描鏡(直徑1.4mm)采用半導體硅工藝制造,低功耗靜電驅動,以高速譜振模式,可實現大的光學掃描角度和高掃描頻率,鏡面表面以金為標準鍍膜材料,可為紅外波長光束提供高反射率,目前已經量產。MEMS掃描微鏡可以進行...

MEMS器件發展前景廣闊，可應用于機械的高級維護系統、微型工廠、人體管腔診斷和檢查系統等需要微型、微細機械的場合。利用MEMS技術可制成突破通信瓶頸的全光交換機、準確檢測病變的基因芯片、比手掌還小的飛行器、重量只有幾十克的微小衛星等。事實上，MEMS是一項極具前途的兩用技術。在過去十多年中, MEMS技術已經應用于安全氣囊傳感器（加速計）、壓力傳感器、顯示器、自適應光器件、數字微鏡器件、掃描儀、血壓測量傳感器、圖象傳感器、硬盤驅動器中的加速度傳感器、蜂窩電話中應用的微繼電器、電視中應用的微型透鏡、噴墨打印頭以及數據存儲器等。在通信方面，光通信正在向有光交換功能的全光通信網絡方向發展， 無線通信...

MEMS掃描微鏡的使用：我們知道MEMS器件開發除了好的設計方案外，較關鍵的還是加工制造環節，成熟的工藝及其優良平臺不只決定了產品的可靠性、一致性的品質要素，而且對成本乃至投放周期有至關重要的影響。為了使產品早日量產搶占市場，要注意采用的工藝。二維MEMS掃描鏡（直徑3.0mm/直徑1.4mm）采用半導體硅技術制造，低功耗靜電驅動，快軸可達到幾kHz共振模式，慢軸可實現穩定旋轉，并可以實現二維光束空間用戶可以根據光學系統的實際應用選擇合適的鏡面尺寸；鏡面以鋁為標準涂層材料，為可見光波長光束提供高反射率。金還可以在大規模制造材料中用作鏡子，以在其他波段中實現高反射率。MEMS器件是指尺寸在幾毫米...

MEMS掃描微鏡的應用：MEMS掃描微鏡在整片的單晶硅上采用擁有技術的無萬向節設計和獨特的多級懸梁制造工藝制作一個完整的微鏡促動器。其中采用無萬向節設計可以使微鏡在成像或光束偏轉時可以在兩個軸上達到同樣的高速度。一個普通的擁有0.8mm直徑的微鏡，當機械偏角為-6°到+6°時，非諧振偏轉速度超過1000rad/s，諧振頻率更是達到3.6KHz。與常規的MEMS掃描鏡不同的是，該微型振鏡可以在多個模式下工作，即點對點模式（受迫振動）、混合模式和諧振模式。二維MEMS掃描微鏡具有體積小、驅動功耗低、掃描頻率高、扭轉轉角大、生產成本低等特點。無錫高性能MEMS掃描微鏡市場MEMS...

MEMS微鏡的使用是比較多的，MEMS微鏡已成為激光雷達主流，少數公司只使用攝像頭，有些場景（如純白或純色）場景可能難以識別，而激光雷達可以很快計算出距離、速度等各種信息，實現對環境的高分辨率識別。以往的機械式激光雷達光學和電學系統非常復雜，只有一些公司還在使用，無法大規模量產。較新技術是采用MEMS掃描微鏡的激光雷達，國內一些已經在使用國產MEMS微鏡芯片開始定點項目量產。一維MEMS掃描鏡(直徑1.4mm)采用半導體硅工藝制造,低功耗靜電驅動,以高速譜振模式,可實現大的光學掃描角度和高掃描頻率,鏡面表面以金為標準鍍膜材料,可為紅外波長光束提供高反射率,目前已經量產。微鏡是指采用光學MEMS...

MEMS掃描微鏡的常見分類：按照掃描維度不同，可以分為一維掃描鏡和二維掃描鏡，一維掃描鏡是指在鏡面在一個維度內偏轉，二維掃描鏡是指沿著兩個方向同時對光束進行調節。實現二維掃描，可以選用兩個一維的掃描鏡，也可以選用兩個一個二維的掃描鏡。相比較而言二維掃描鏡功能更強大，但是結構也更復雜，控制的難度也就越大。按照驅動方式的不同，可以分為靜電驅動、電磁驅動、壓電驅動和電熱驅動四種驅動方式。電熱驅動是，利用電能轉換為熱能，再轉換為機械能驅動，其優點是驅動力和驅動位移較大，但是響應速度較慢。壓電驅動是利用壓電材料的壓電效應實現驅動，具有驅動力大、響應速度快等優點，但是壓電材料存在遲滯現象。MEMS掃描鏡能...